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射频等离子体清洗系统

产品系列

PRODUCT SERIES
射频等离子体清洗系统

射频等离子体清洗系统

射频等离子体清洗系统是基于射频等离子体放电技术,用于光学元件清洗的专业设备。设备为一体化设计,同时在高精度气体流量质量控制和阻抗自动匹配等功能的加持下,具有良好的系统稳定性以及环境适应性。
所属分类:
部件模块
400-8877-750 sales@specreation.com
射频等离子体清洗系统
产品介绍
设备特点
应用简介

产品特点 Product Features

●自匹配功率源无需手动调节
●RS485, I/O□多种通讯方式
●定制软件功能及界面
●高精度质量流量控制系统
●体积小,集成度高
●拓展功能强大

主要参数 Technical Parameter

外形尺寸 510×510×530(W×H×D 单位:mm)
功率 0-500W连续可调
保护 过流、过压、过热、反射过大
控制系统 触摸屏+自动控制
重量 ≤40Kg
输出线缆 5m
电源频率 13.56MHz
适用腔体容积 0.3-1m3
气路系统 标准配置2路,流量0-300sccm可调(可拓展)

现场测试 Field Test

清洗前
清洗后

应用领域 Applications

大科学装置 半导体
生物医药 3C产业

 

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