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极紫外偏振检测系统

极紫外偏振检测系统

偏振检测系统是利用薄膜对极紫外光的反射率和相位延时特性,进行光源偏振性准确测量的专用设备,其核心器件是检偏器。可以通过旋转检偏器获取不同角度下的能量信息,结合理论分析,获得椭圆偏振光的总光强、长轴和短轴的信息。
400-8877-750 sales@specreation.com
极紫外偏振检测系统
产品介绍
设备特点
应用简介

产品介绍 Introduction

产品特点 Product Features

●高真空兼容
●高检测精度
●定制软件功能及界面
●集成度高,一键检测

主要参数 Technical Parameter

检测波长范围 根据需求设计
优化波长 根据需求设计
系统真空度 10-4Pa,特殊定制可达5×10-8Pa
检测精度 1%
出射光同轴度 优于0.01°
检偏器旋转角度 0-360°

测试数据 Test Data

转轴同轴度:优于36″(0.01°)

转轴分辨率:优于0.05°

应用领域 Applications

大科学装置 半导体
生物医药 材料科学

 

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