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晶体定向仪

晶体定向仪

高精度二维晶体定向仪利用X射线衍射(XRD)原理, 通过测量晶体绕法线转动到不同方位角的Bragg角变化,反演局部晶体表面与镜面夹角△θ,并通过二维扫描实现对整个晶体面△θ的描绘,最终实现二维,晶体面型误差的检测。
所属分类:
X射线光谱分析
400-8877-750 sales@specreation.com
晶体定向仪
产品介绍
设备特点
应用简介

产品特点 Product Features

●结构紧凑,集成度高
●可进行系统集成服务
●具有空间分辨,实现二维检测
●软件界面友好,人机交互性强
●通过几何关系反演,精度高
●不依赖标准晶片标定0位,减少系统误差

主要参数 Technical Parameter

光源 1.2kWX射线光管,靶材可订制
探测器 强度探测器(点探)
最大晶体口径 Φ150mm
面形检测精度 0.01°
二维扫描分辨率 0.1mm

应用领域 Applications

半导体 光学加工 材料科学

 

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