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c10

平场光谱仪

平场光谱仪,采用全息凹球面变线距光栅进行分光,具有平场特性,便于使用面阵CCD记录光谱。光栅工作在掠入射模式下,衍射效率高,同时通过选用不同的光栅型号,可以实现波长范围0.6~200nm的全覆盖。
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c10
产品介绍
设备特点
应用简介

产品介绍/ INTRODUCTION

平场光谱仪,采用全息凹球面变线距光栅进行分光,具有平场特性,便于使用面阵CCD记录光谱。光栅工作在掠入射模式下,衍射效率高,同时通过选用不同的光栅型号,可以实现波长范围0.6~200nm的全覆盖。

1

 

 

光栅参数:

光栅型号

N (l/mm)

λ1 ~ λ2(nm)

L(mm)

r(mm)

α(deg.)

r1'(mm)

β1(deg.)

r2'(mm)

β2(deg.)

ri'(mm)

βi'(deg.)

30-001

2400

1~6

25.3

237.0

88.00

235.6

85.81

238.5

80.17

235.0

90.00

30-002

1200

5~20

25.3

237.0

87.00

236.7

83.04

241.1

77.07

235.0

90.00

30-003

2400

1~7

26.8

236.7

88.60

235.8

85.79

239.5

79.39

235.0

90.53

30-004

2400

0.6~4

19.4

236.8

88.65

233.9

86.64

235.8

81.94

233.5

90.00

30-005

1200

3.5~8.5

11.1

237.0

87.07

234.8

83.98

236.2

81.30

233.5

90.00

30-006

300

20~80

25.3

237.0

87.00

236.7

83.04

241.1

77.07

235.0

90.00

30-007

120

50~200

25.3

237.0

87.00

236.7

83.04

241.1

77.07

235.0

90.00

30-008

1500

9~45

68.5

379.0

80.00

372.7

76.24

394.6

66.54

362.0

90.00

30-009 500 27~135 68.5 379.0 80.00

372.7

76.24

394.6

66.54

362.0

90.00

选配范围:

光谱仪型号

线密度(l/mm)

波⻓范围(nm)

成像⾯⻓(mm)

线⾊散(nm/mm)

VuSpeC-EFlat-1

2400

1~6

23.5

0.15~0.30

VuSpeC-EFlat-2

1200

5~20

25.3

0.50~0.80

VuSpeC-EFlat-3

2400

1~7

26.8

0.15~0.35

VuSpeC-EFlat-4

2400

0.6~4

19.4

0.15~0.30

VuSpeC- EFlat-5

1200

3.5~8.5

11.1

0.40~0.55

VuSpeC- EFlat-6

300

20~80

25.3

1.70~3.20

VuSpeC- EFlat-7

120

50~200

25.3

4.50~8.00

VuSpeC- EFlat-8

1500

9~45

68.5

0.50~1.00

VuSpeC- EFlat-9

500

27~135

68.5

0.80~1.70

主要参数/ PARAMETERS

● 光栅类型: 凹球⾯变线距光栅

● 波⻓范围: 0.6~200nm(选配)

● 光谱分辨率: 0.015nm@13.5nm, 可根据需求优化

● 探测器类型: 科研级相机

● 前置收光可选

● 具备远程激光快速瞄准定位功能

● ⾼真空兼容,5×10-3 Pa

● 具有5μm~300μm在线连续可调狭缝

测试数据/TEST DATA

1

应⽤领域/Applications  

 

1 1 1

强场与⾼能量密度物理

半导体与集成电路制造

探测器、光源计量级标定

 
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