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c11

超环面光栅单色器

超环面光栅单色器,采用像差校正超环面光栅进行衍射分光,可以在较宽光谱范围内保证高的光谱分辨和光通量。 通过选配不同的光栅型号,可以实现10-300nm范围的光谱覆盖。
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c11
产品介绍
设备特点
应用简介

产品介绍 Product Introduction

超环面光栅单色器,采用像差校正超环面光栅进行衍射分光,可以在较宽光谱范围内保证高的光谱分辨和光通量。 通过选配不同的光栅型号,可以实现10-300nm范围的光谱覆盖。

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主要参数/ PARAMETERS

● 波⻓范围:10~300nm

● 低像散

● ⾼真空兼容,10-4 Pa,超⾼真空可定制,10-7 Pa

● 具有5μm~300μm在线连续可调狭缝

● 单光学元件设计,结构简单,效率⾼

● 具备远程激光快速瞄准定位功能

● 光谱分辨率:0.1nm@37.93nm,可根据需求优化

选配范围:

光谱仪型号

包含角
(°)

线密度
(L/mm)

波长范围
(nm)

入射臂长
(mm)

出射臂长
(mm)

线色散
(nm/mm) ①

VuSpec-TGM-900

142

550

10~50

319.9

319.5

1.60~1.80

vuSpec-TGM-910

142

550

15~150

319.9

319.5

1.20~1.80

vuSpec-TGM-920

142

275

50~300

319.9

319.5

2.30~2.50

应⽤领域/Applications  

 

1 1 1 1

强场与⾼能量密度物理

半导体与集成电路制造

探测器、光源计量级标定

极紫外反射率研究
 
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