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c12

NIM型真空紫外光谱仪

NIM型真空紫外光谱仪,采用Seya- Namioka光路结构,入射狭缝和CCD探测器位于罗兰圆上,可以单色模式和光谱模式切用 。
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c12
产品介绍
设备特点
应用简介

产品介绍 Product Introduction

NIM型真空紫外光谱仪,采用Seya- Namioka光路结构,入射狭缝和CCD探测器位于罗兰圆上,可以单色模式和光谱模式切用 。

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产品特点/ CHARACTERISTIC

● 波⻓范围较宽

● 在线精密可调狭缝

● 可扩展空间维聚焦

● 可进⾏系统集成服务

● 结构紧凑集成度⾼

● ⾼真空兼容性

主要参数/ PARAMETERS

●光栅类型: 球⾯光栅

● 波⻓范围: 80nm~200nm

● 光谱分辨率: 0.16nm@167nm

● 波⻓精度: 根据需求设计

● 探测器类型: 科研级相机

● 狭缝宽度: 0.01~3mm在线连续可调

测试数据/TEST DATA

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应⽤领域/Applications  

 

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⼤科学装置

半导体极紫外光源与探测器研究

空间与防务

 
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