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朗缪尔探针

朗缪尔探针

朗缪尔探针系统是一种测试等离子体参数的关键诊断工具,可以对等离子体密度、电子温度、等离子体电流密度等参数进行实时在线监测。
所属分类:
探测与诊断
400-8877-750 sales@specreation.com
朗缪尔探针
产品介绍
设备特点
应用简介

产品特点 Product Features

●实时在线监测:
①等离子体密度
②电子温度
③离子电流密度
④等离子体电位
⑤悬浮电位
⑥电子能量分布函数(EEDF)

主要参数 Technical Parameter

等离子体与测量要求:

等离子体 测量要求
悬浮电位 -45V~45V
等离子体电位 -40V~45V
等离子体密度 108~1013cm-3
离子电流密度 100μA/cm²~500mA/cm²
电子温度 0.1~5eV
电子能量分布函数 0~30eV

探针电子学参数范围:

探针电子学参数 范围
电压扫描范围 -50V~50V
电流扫描范围 100μA~500mA
扫描频率 100Hz~1000Hz
数据分辨率 10bit
采样速率 65MS/s
时间分辨率 15ns
通讯方式 USB2.0

应用领域 Applications

等离子体物理研究 低温等离子体技术在半导体掺杂与刻蚀工艺 金属焊接加工 军事飞机隐身设计

 

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