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VPR系列真空转台

VPR系列真空转台

VPR系列真空转台,整体采用真空兼容材料,通过蜗轮蜗杆传动,可选配真空专用增量式圆光栅和双读数头,可实现高精度旋转运动。配合自主研发的控制器实现闭环控制,非常适用于真空环境的精密运动领域。
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VPR系列真空转台
产品介绍
设备特点
应用简介

产品特点 Product Features

●超高精度
●带自锁
●可选配光栅尺闭环控制
●高真空兼容性
●限位开关行程可调

主要参数 Technical Parameter

   型号 VPR6 VPR10 VPR14 VPR20
机械规格 旋转范围/° ±160 ±160 ±160 ±160
台面直径尺寸/mm 60 100 140 200
传动方式 蜗轮蜗杆
材质 铝/不锈钢
精度规格 分辨率/μrad 不配圆光栅5,配置圆光栅1
重复定位精度/μrad 不配圆光栅±20,配置圆光栅±4
表面跳动/μm 20 25 30 35
承重/Kg 3 6 10 15
电气规格 限位 电子限位
圆光栅 可选配
步进电机 2相,转角1.8°
电源电压/V 24±10%
控制接口 DB15
控制器 可选配
适用真空度 10⁴Pa

 

 

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