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DCLS极紫外光束传输系统

DCLS极紫外光束传输系统

  • 分类:解决方案
  • 作者:
  • 来源:
  • 发布时间:2023-07-26
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【概要描述】极紫外光束传输系统是⼤连相⼲光源(DCLS)光源技术的关键系统之⼀,主要⽤于将在真空中产⽣且不能在空⽓中传输的极紫外光束⾼效地传输到实验研究⼯作站。

DCLS极紫外光束传输系统

【概要描述】极紫外光束传输系统是⼤连相⼲光源(DCLS)光源技术的关键系统之⼀,主要⽤于将在真空中产⽣且不能在空⽓中传输的极紫外光束⾼效地传输到实验研究⼯作站。

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产品介绍 INTRODUCTION

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极紫外光束传输系统是⼤连相⼲光源(DCLS)光源技术的关键系统之⼀,主要⽤于将在真空中产⽣且不能在空⽓中传输的极紫外光束⾼效地传输到实验研究⼯作站。

创谱仪器承接并完成了该光束传输系统的光学设计、 ⼯程设计 、 在线安装与集成测试⼯作,带光调试结果符合预期指标要求,已顺利交付并投⼊使⽤。

主要参数 CHARACTERISTIC

● 波⻓范围:30-180nm

● 接收⻆:4.0σ@100nm

● 样品处光斑⼤⼩:1.0×1.0 mm²

● 在线光谱诊断:10000分辨

● 尺⼨数据:总⻓30⽶,4线(8站)

测试数据 TEST DATA

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