荧光靶型泵站是一种超高真空兼容的辅助设备,兼具荧光靶和泵站的功能。荧光靶是利用荧光屏或YAG片将不可见的光斑转换为可见光光斑,并通过光学成像系统观测光斑的位置和大小,来推断光束的位置和大小。系统的靶片可以快速精准切换,进入光路或离开光路,并配置实时视频监控模块,提供在线查看功能。本装置配备上离子泵,能够起到维持系统真空环境的目的。
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