产品系列
PRODUCT SERIES
分类出来
产品介绍
设备特点
应用简介
产品特点 Product Features
●超高精度
●高重复性
●稳定性高
●在线连续可调
主要参数 Technical Parameter
产品型号 | PSLIT-E-5 | PSLIT-H-5 | PSLIT-H-3 |
缝宽调节范围/mm | 0.005~0.5 | 0.005~0.3 | |
缝宽调节精度/μm | ±2μm | ±3μm | |
狭缝长度/mm | 45 | 20 | |
缝口直线度/μm | 3 | ||
驱动方式 | 电动 | 手动 | |
密封机制 | 焊接波纹管连接,CF法兰 | 安装在仪器内部 | |
真空范围 | 10-7Pa,极限可达10-8Pa | 10-3Pa | |
在线检测模块 | 可扩展 | ||
烘烤温度 | 200℃ | ||
冷却方式 | 水冷可选 |
测试数据 Test Data
应用领域 Applications
波长选择 | |
光束整形 |
精密可调狭缝能够广泛应用于波长选择、光束整形等场景。
上一页
射频等离子体清洗系统
下一页
束流截面测量系统
相关产品 Relative Products
产品咨询 Product Consulting
客户留言
描述: