产品系列
PRODUCT SERIES
分类出来
产品介绍
设备特点
应用简介
产品特点 Product Features
●自匹配功率源无需手动调节
●RS485, I/O□多种通讯方式
●定制软件功能及界面
●高精度质量流量控制系统
●体积小，集成度高
●拓展功能强大
主要参数 Technical Parameter
| 外形尺寸 | 510×510×530(W×H×D 单位:mm) |
| 功率 | 0-500W连续可调 |
| 保护 | 过流、过压、过热、反射过大 |
| 控制系统 | 触摸屏+自动控制 |
| 重量 | ≤40Kg |
| 输出线缆 | 5m |
| 电源频率 | 13.56MHz |
| 适用腔体容积 | 0.3-1m3 |
| 气路系统 | 标准配置2路,流量0-300sccm可调(可拓展) |
现场测试 Field Test
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清洗前 |
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清洗后 |
应用领域 Applications
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| 大科学装置 | |
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| 生物医药 | 3C产业 |
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空
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精密可调狭缝
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