产品系列
PRODUCT SERIES
分类出来
产品介绍
设备特点
应用简介
主要参数 Technical Parameter
| 单个晶体调节参数 | 运动范围/角度范围 | 分辨率 | 重复精度 |
| 平动z | 12mm | 0.05μm | ±1μm |
| 倾角pitch | ±4.5° | 0.0005° | ±0.001° |
| 摆角yaw | ±4.5° | 0.0005° | ±0.002° |
| 支架高度 | 调节范围±10mm | 5μm | ±10μm |
| 转台旋转精度 | 0.05° | ||
| 晶体位置精度 | <1mm | ||
| 总重量 | <200Kg | ||
测试数据 Test Data
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| 晶体径向Z稳定性测试 | 晶体轴向稳定性测试 |
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| 偏角分辨率测试 | 偏角重复定位精度测试 |
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| 转台重复定位精度测试 | 升降机构稳定性测试 |
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