产品系列
PRODUCT SERIES
分类出来
产品介绍
设备特点
应用简介
产品特点 Product Features
●最多3块光栅可更换
●可选光学元件水冷
●光学元件无应力装夹
●超高运动精度
●超高稳定性
●高光谱分辨
主要参数 Technical Parameter
| 平面镜数量 | 1 | ||
| 光栅数量 | 3 | ||
| 光栅/平面镜 扫描机构 |
扫描范围 | 17° | |
| 扫描分辨率 | 0.25 μrad(光栅尺闭环) | ||
| 扫描速度 | 0.7 mrad/s | ||
| 扫描重复定位精度 | ±1μrad | ||
| 稳定性 | 0.25 μrad @2 hour | ||
| 双轴平行性 | ≤25μrad | ||
| 光栅切换机构 | 切换范围 | 170 mm | |
| 切换分辨率 | 0.5μm | ||
| 切换重复定位精度 | 位移定位 | ±1μm | |
| 俯仰角 | ±5μrad | ||
| 偏摆角 | ±5μrad | ||
| 系统真空度 | 静态真空度6×10-8Pa,漏率≤1×10-9Pa ·L/S | ||
测试数据 Test Data
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平面等间距光栅单色器(PGM)
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