高精度二维晶体定向仪利用X射线衍射(XRD)原理, 通过测量晶体绕法线转动到不同方位角的Bragg角变化,反演局部晶体表面与镜面夹角△θ,并通过二维扫描实现对整个晶体面△θ的描绘,最终实现二维,晶体面型误差的检测。