产品系列
PRODUCT SERIES
平场光谱仪
产品介绍/ INTRODUCTION
平场光谱仪,采用全息凹球面变线距光栅进行分光,具有平场特性,便于使用面阵CCD记录光谱。光栅工作在掠入射模式下,衍射效率高,同时通过选用不同的光栅型号,可以实现波长范围0.6~200nm的全覆盖。
光栅参数:
光栅型号 |
N (l/mm) |
λ1 ~ λ2(nm) |
L(mm) |
r(mm) |
α(deg.) |
r1'(mm) |
β1(deg.) |
r2'(mm) |
β2(deg.) |
ri'(mm) |
βi'(deg.) |
30-001 |
2400 |
1~6 |
25.3 |
237.0 |
88.00 |
235.6 |
85.81 |
238.5 |
80.17 |
235.0 |
90.00 |
30-002 |
1200 |
5~20 |
25.3 |
237.0 |
87.00 |
236.7 |
83.04 |
241.1 |
77.07 |
235.0 |
90.00 |
30-003 |
2400 |
1~7 |
26.8 |
236.7 |
88.60 |
235.8 |
85.79 |
239.5 |
79.39 |
235.0 |
90.53 |
30-004 |
2400 |
0.6~4 |
19.4 |
236.8 |
88.65 |
233.9 |
86.64 |
235.8 |
81.94 |
233.5 |
90.00 |
30-005 |
1200 |
3.5~8.5 |
11.1 |
237.0 |
87.07 |
234.8 |
83.98 |
236.2 |
81.30 |
233.5 |
90.00 |
30-006 |
300 |
20~80 |
25.3 |
237.0 |
87.00 |
236.7 |
83.04 |
241.1 |
77.07 |
235.0 |
90.00 |
30-007 |
120 |
50~200 |
25.3 |
237.0 |
87.00 |
236.7 |
83.04 |
241.1 |
77.07 |
235.0 |
90.00 |
30-008 |
1500 |
9~45 |
68.5 |
379.0 |
80.00 |
372.7 |
76.24 |
394.6 |
66.54 |
362.0 |
90.00 |
30-009 | 500 | 27~135 | 68.5 | 379.0 | 80.00 |
372.7 |
76.24 |
394.6 |
66.54 |
362.0 |
90.00 |
选配范围:
光谱仪型号 |
线密度(l/mm) |
波⻓范围(nm) |
成像⾯⻓(mm) |
线⾊散(nm/mm) |
VuSpeC-EFlat-1 |
2400 |
1~6 |
23.5 |
0.15~0.30 |
VuSpeC-EFlat-2 |
1200 |
5~20 |
25.3 |
0.50~0.80 |
VuSpeC-EFlat-3 |
2400 |
1~7 |
26.8 |
0.15~0.35 |
VuSpeC-EFlat-4 |
2400 |
0.6~4 |
19.4 |
0.15~0.30 |
VuSpeC- EFlat-5 |
1200 |
3.5~8.5 |
11.1 |
0.40~0.55 |
VuSpeC- EFlat-6 |
300 |
20~80 |
25.3 |
1.70~3.20 |
VuSpeC- EFlat-7 |
120 |
50~200 |
25.3 |
4.50~8.00 |
VuSpeC- EFlat-8 |
1500 |
9~45 |
68.5 |
0.50~1.00 |
VuSpeC- EFlat-9 |
500 |
27~135 |
68.5 |
0.80~1.70 |
主要参数/ PARAMETERS
● 光栅类型: 凹球⾯变线距光栅
● 波⻓范围: 0.6~200nm(选配)
● 光谱分辨率: 0.015nm@13.5nm, 可根据需求优化
● 探测器类型: 科研级相机
● 前置收光可选
● 具备远程激光快速瞄准定位功能
● ⾼真空兼容,5×10-3 Pa
● 具有5μm~300μm在线连续可调狭缝
测试数据/TEST DATA
应⽤领域/Applications
强场与⾼能量密度物理 |
集成电路制造 |
探测器、光源计量级标定 |