产品系列
PRODUCT SERIES
分类出来
超环面光栅单色器
所属分类:
软X射线-紫外光谱仪器
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产品介绍
设备特点
应用简介
产品介绍 Product Introduction
超环面光栅单色器,采用像差校正超环面光栅进行衍射分光,可以在较宽光谱范围内保证高的光谱分辨和光通量。 通过选配不同的光栅型号,可以实现10-300nm范围的光谱覆盖。
主要参数/ PARAMETERS
● 波⻓范围:10~300nm
● 低像散
● ⾼真空兼容,10-4 Pa,超⾼真空可定制,10-7 Pa
● 具有5μm~300μm在线连续可调狭缝
● 单光学元件设计,结构简单,效率⾼
● 具备远程激光快速瞄准定位功能
● 光谱分辨率:0.1nm@37.93nm,可根据需求优化
选配范围:
光谱仪型号 |
包含角 |
线密度 |
波长范围 |
入射臂长 |
出射臂长 |
线色散 |
VuSpec-TGM-900 |
142 |
550 |
10~50 |
319.9 |
319.5 |
1.60~1.80 |
vuSpec-TGM-910 |
142 |
550 |
15~150 |
319.9 |
319.5 |
1.20~1.80 |
vuSpec-TGM-920 |
142 |
275 |
50~300 |
319.9 |
319.5 |
2.30~2.50 |
应⽤领域/Applications
强场与⾼能量密度物理 |
集成电路制造 |
探测器、光源计量级标定 |
极紫外反射率研究 |
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