产品系列
PRODUCT SERIES
分类出来
产品介绍
设备特点
应用简介
产品特点 Product Features
●实时在线监测:
①等离子体密度
②电子温度
③离子电流密度
④等离子体电位
⑤悬浮电位
⑥电子能量分布函数(EEDF)
主要参数 Technical Parameter
等离子体与测量要求:
等离子体 | 测量要求 |
悬浮电位 | -45V~45V |
等离子体电位 | -40V~45V |
等离子体密度 | 108~1013cm-3 |
离子电流密度 | 100μA/cm²~500mA/cm² |
电子温度 | 0.1~5eV |
电子能量分布函数 | 0~30eV |
探针电子学参数范围:
探针电子学参数 | 范围 |
电压扫描范围 | -50V~50V |
电流扫描范围 | 100μA~500mA |
扫描频率 | 100Hz~1000Hz |
数据分辨率 | 10bit |
采样速率 | 65MS/s |
时间分辨率 | 15ns |
通讯方式 | USB2.0 |
应用领域 Applications
等离子体物理研究 | 低温等离子体技术 | 金属焊接加工 | 军事飞机隐身设计 |
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大列阵nTOF探测器
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10GSPS高速数字化仪
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