产品系列
PRODUCT SERIES
分类出来
产品介绍
设备特点
应用简介
产品特点 Product Features
●重复定位精度高
●手动/电动/多行程可选
●标准CF法兰接口，超高真空兼容
●任意位置自锁
主要参数 Technical Parameter
| 接口 | CF16或CF35 |
| 工作温度 | -20°C~50°C |
| 重复定位精度 | ±10μm |
| 运动方式 | 手动电动可选 |
| 行程 | 20mm、50mm、75mm可选 |
| 分辨率 | 手动/10μm;电动/优于5μm |
| 真空度 | 5X10-8Pa |
| 烘烤温度 | 极限200°C (电动款需移除电机) |
测试数据 Test Data
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VPR系列真空转台
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通用高性能运动控制器
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