产品系列
PRODUCT SERIES
分类出来
产品介绍
设备特点
应用简介
产品特点 Product Features
●超高精度
●带自锁
●可选配光栅尺闭环控制
●高真空兼容性
●限位开关行程可调
主要参数 Technical Parameter
| 型号 | VPR6 | VPR10 | VPR14 | VPR20 | |
| 机械规格 | 旋转范围/° | ±160 | ±160 | ±160 | ±160 |
| 台面直径尺寸/mm | 60 | 100 | 140 | 200 | |
| 传动方式 | 蜗轮蜗杆 | ||||
| 材质 | 铝/不锈钢 | ||||
| 精度规格 | 分辨率/μrad | 不配圆光栅5,配置圆光栅1 | |||
| 重复定位精度/μrad | 不配圆光栅±20,配置圆光栅±4 | ||||
| 表面跳动/μm | 20 | 25 | 30 | 35 | |
| 承重/Kg | 3 | 6 | 10 | 15 | |
| 电气规格 | 限位 | 电子限位 | |||
| 圆光栅 | 可选配 | ||||
| 步进电机 | 2相，转角1.8° | ||||
| 电源电压/V | 24±10% | ||||
| 控制接口 | DB15 | ||||
| 控制器 | 可选配 | ||||
| 适用真空度 | 10-⁴Pa | ||||
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真空直线导入器
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