产品系列
PRODUCT SERIES
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产品介绍
设备特点
应用简介
产品特点 Product Features
●高精度
●带自锁
●高分辨率
●光栅尺闭环控制
●高负载、运动平稳
●高真空可定制
主要参数 Technical Parameter
| 型号 | PSZL-5 | PSZL-10 | PSZL-15 | PSZL-20 | |
| 机械规格 | 行程(mm) | 5 | 10 | 15 | 20 |
| 台面尺寸(mm×mm) | 60×60 | 120×120 | 150×150 | 240×240 | |
| 传动方式 | 滚珠丝杠 | ||||
| 导轨 | 交叉滚子直线导轨 | ||||
| 材质 | 铝/不锈钢 | ||||
| 精度规格 | 分辨率(μm) | 0.5 | |||
| 重复定位精度(μm) | ±1 | ||||
| 定位精度(μm) | ±2 | ||||
| 俯仰姿态精度(") | ±8 | ±10 | ±12 | ±14 | |
| 偏摆姿态精度(") | ±8 | ±10 | ±12 | ±14 | |
| 承载力(Kg) | 6 | 20 | 40 | 80 | |
| 电气规格 | 限位 | 电子限位 | |||
| 光栅 | 增量式 | ||||
| 步进电机 | 2相，转角1.8° | ||||
| 电源电压(V) | 24±10% | ||||
| 控制接口 | DB15 | ||||
| 控制器 | 可选配 | ||||
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